廃盤 UI-S series
2ラインセンサー方式直筒 AF(オートフォーカス)
顕微鏡ユニット
仕様
型式 | UI-S |
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コントローラ部 | Autofocus Unit インタフェース:USB/EXT.I/O AC100V〜200V 1A 調整用アプリケーション付属 |
照明部 | 別売 |
対応顕微鏡(対物レンズ) | ニコンCFI シリーズ ミツトヨ M Plan Apoシリーズ |
対応観察法 | 明視野 |
対応照明法 | 落射照明 |
対応倍率 | 1x(検体条件有り)~100x(使用環境による) |
サーチ速度 | 0.3秒(対物レンズ20x、サーチ範囲±250μm) |
追従速度 | 555μm/sec (対物レンズ20x Max) |
対象ワーク | ガラス(LCD,PDP)、プラスチック(マイクロレンズ、C-MOS)、フィルム(LCD用フィルム)金属、紙、液体(液体は一部対応できないものもあります) |
動作原理
オートフォーカス用AFパターンにより縞状パターンをワークに投射します。ワーク上で反射した縞状パターンは照明で照らし出されたワーク像と共に撮像装置に取り込まれ、ビームスプリッターで分岐した後に各々光路差光学系を通り2つのラインセンサー(メインとサブ)に検出されます。ピント位置にズレが生じた場合も双方の比較によりズレ方向の検出が可能となり高い高速追従性を実現しました。