UI-S SERIES
2ラインセンサー方式直筒 AF(オートフォーカス)
顕微鏡ユニット

精密検査分野に対応したオートフォーカス顕微鏡ユニットです。

  • AFは精密検査分野に対応した2ラインセンサー方式の高速追従タイプ
  • 可視光用と近赤外(750nm)用の2機種を用意
  • レボルバータイプにも対応
  • 2/3"メガピクセルカメラ対応
  • リーズナブルな価格設定
  • システム化に対応した購入後も安心なフォロー体制

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仕様

型式 UI-S
コントローラ部 Autofocus Unit インタフェース:USB/EXT.I/O AC100V〜200V 1A 調整用アプリケーション付属
照明部 別売
対応顕微鏡(対物レンズ) ニコンCFI シリーズ ミツトヨ M Plan Apoシリーズ
対応観察法 明視野
対応照明法 落射照明
対応倍率 1x(検体条件有り)~100x(使用環境による)
サーチ速度 0.3秒(対物レンズ20x、サーチ範囲±250μm)
追従速度 555μm/sec (対物レンズ20x Max)
対象ワーク ガラス(LCD,PDP)、プラスチック(マイクロレンズ、C-MOS)、フィルム(LCD用フィルム)金属、紙、液体(液体は一部対応できないものもあります)

動作原理

オートフォーカス用AFパターンにより縞状パターンをワークに投射します。ワーク上で反射した縞状パターンは照明で照らし出されたワーク像と共に撮像装置に取り込まれ、ビームスプリッターで分岐した後に各々光路差光学系を通り2つのラインセンサー(メインとサブ)に検出されます。ピント位置にズレが生じた場合も双方の比較によりズレ方向の検出が可能となり高い高速追従性を実現しました。

特注製作例

レボルバータイプ/UBシリーズ
レボルバータイプ/USシリーズ